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ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire™激光干涉儀 繼承了工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)GPI™激光干涉儀系列的所有優(yōu)點(diǎn),融合了機(jī)械相移技術(shù)、創(chuàng)造性的數(shù)據(jù)采集技術(shù)、高性能的光電成像系統(tǒng)、振動補(bǔ)償軟件、非球面測量技術(shù)和波紋抑制技術(shù)等,是ZYGO技術(shù)的集中體現(xiàn)。 所有VeriFire™系列產(chǎn)品都能提供標(biāo)準(zhǔn)的干涉測量,每種型號均具有特殊的應(yīng)用。
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